• English
  • +98 21 56391564-65
    Sat-Wed 8-17
    test

    سیستم پوشش‌دهی چند منظوره در خلأ(PVD)

    کاربرد‌ها

    دستگاه لایه‌نشانی چند منظوره با تکنولوژی مگنترون اسپاترینگ امکان تبخیر طیف وسیعی از مواد و لایه‌نشانی بر روی انواع زیرلایه با جنس‌های متفاوت را امکان‌پذیر می‌سازد. این دستگاه طوری طراحی گردیده است که نصب انواع دیگر چشمه‌های تبخیر، ملحقات و ادوات پیشرفته لایه‌نشانی در آن به سهولت قابل انجام می‌باشد.

    • چمبر خلأ دوجداره خنک‌شونده 10 لیتری از جنس فولاد ضد زنگ با درب از جلو جهت کاربری آسان، مجهز به سنسور درب و سیستم خود قفل‌شونده و پورت‌های استاندارد اضافی جهت ارتقاء سیستم (اضافه کردن چشمه‌های تبخیر و سایر ادوات اختیاری)
    • شاسی ارگونامیک با رنگ الکترواستاتیک و دسترسی آسان به قسمت‌های مختلف دستگاه (تعمیر و نگهداری و ارتقای آسان)
    • خلأ نهایی 5*10-5 mbar
    • سیستم خلأ شامل پمپ‌های روتاری و دیفیوژن و سایر متعلقات خلأ بالا (گیج پیرانی، گیپ پنینگ، شیرهای خلأ و …)
    • چشمه مگنترون اسپاترینگ 2 اینچی آب خنک با نصب آسان
    • منبع تغذیه 700 وات DC پالسی
    • شاتر خودکار بر روی چشمه مگنترون اسپاترینگ متصل به سیستم کنترل مرکزی MFC و شیر ورود گاز
    • سیستم نگهدارنده نمونه به همراه کلیه حفاظت‌ها و سنسورهای لازم PLC سیستم کنترل مرکزی
    • سیستم نمایشگر لمسی با امکان ذخیره و بازیابی اطلاعات
    • پورت‌های اضافی جهت نصب سیستم‌های مختلف در سقف و کف چمبر
    • امکان نصب گرمکن زیرلایه تا 2500 °C به دلیل فلزی و 2 جداره بودن چمبر
    • امکان نصب سنسور ضخامت‌سنج کریستالی
    • امکان نصب سیستم چرخان نمونه (چرخش ساده و یا چرخش سیاره‌ای)
    • امکان نصب انواع چشمه‌های تبخیر و اتصال آن به سیستم کنترل مرکزی