PVD به مجموعه روش‌های پوشش‌دهی در خلأ جهت ایجاد پوششی به صورت لایه نازک اطلاق شده و به دو روش کلی تقسیم می شود:
1- تبخیر حرارتی (evaporation)
2- کندوپاش (sputtering)
هر کدام از روش های ذکر شده با چند مدل مختلف قابل انجام هستند.
یکی از مدل‌های بسیار پرکاربرد روش تبخیر حرارتی، تبخیر به روش قوس کاتدی (Cathodic arc evaporation) است که بیشتر با نام آبکاری تحت خلأ در ایران شناخته شده است. این روش می‌تواند در مدهای DC و یا پالسی انجام شود. در هر یک از حالت‌های مذکور، ولتاژ ایجاد شده توسط منبع تغذیه باعث ایجاد قوس الکتریکی بین آند و کاتد می‌شود. جریان قوس بر روی سطح بسیار کوچکی از کاتد (تارگت) متمرکز شده و دانسیته‌ی جریان بسیار بالایی را ایجاد می‌کند که باعث تبخیر کاتد و تبدیل آن به بخار یونیزه میگردد. بخار یونیزه با گازهای ورودی به محفظه (اکسیژن، نیتروژن و…) واکنش داده و به صورت یک لایه نازک سرامیکی روی سطح قطعه مورد نظر رسوب می‌کند. انواع فلزات، سرامیک‌ها و پلاستیک‌های فشرده مقاوم در برابر حرارت مانند ABS را می‌توان با استفاده از روش Arc-PVD پوشش‌دهی نمود.
با توجه به ایجاد خواص بسیار مطلوب، از این روش می‌توان برای ایجاد پوشش‌های تزئینی و همچنین پوشش‌های سخت صنعتی استفاده نمود.
پوشش‌های تزئینی ایجاد شده با این روش در رنگ‌های متنوع و زیبا بر روی انواع شیرآلات بهداشتی، کاشی و سرامیک، یراق‌آلات، لوازم خانگی، رینگ خودرو و…. ایجاد می‌شود که در عین زیبایی و ماندگاری رنگ پوشش، دارای خواص ضدخش، ضد اسید و سختی بسیار بالا هستد.
به علت ایجاد خواص ضد سایش، ضد خوردگی، روانکاری، سختی بسیار بالا و پایداری حرارتی از پوشش Arc-PVD در صنایع مختلف برای ایجاد پوشش‌های سخت بر روی انواع ابزار برش، قالب‌های صنعتی و…نیز استفاده می‌شود.
مشخصات پوشش‌های نیتریدی:
منبع: