KEB
50
تفنگ الکترونی ۵۰ کیلووات
کاربرد‌ها
سیستم لایه‌نشانی توسط تفنگ الکترونی یک دستگاه موثر برای تبخیر انواع فلزات، سرامیک‌ها و دیرگدازها در خلأ می‌باشد. این بخارات جهت رسوب و لایه‌نشانی در خلأ کاربردهای وسیعی دارد. KEB 50 با توان بیشینه 50 کیلووات و قابلیت تنظیم دقیق توان بیم الکترونی، امکان تبخیر طیف وسیعی از مواد با نرخ تبخیر بالا را میسر می‌سازد.
- ستون تفنگ الکترونی (کلیه قسمت‌های خنک شونده با آب) شامل: مجموعه فیلمان، کاتد اسمبلی، شتاب‌دهنده، پیچه فوکس، انحراف و اسکن و نگهدارنده‌ها
- سیستم خلأ شامل پمپ روتاری دو مرحله، پمپ توربو مولکولار، گیج پیرانی و پنینگ، شیرها و اتصالات خلأ
- منابع تغذیه شامل: منبع تغذیه ولتاژ بالا 50 کیلووات، شتاب‌دهنده ثانویه، منبع تغذیه ولتاژ بالا، شتاب‌دهنده اولیه، منبع تغذیه جریان بالا (فیلمان)، منبع تغذیه سیستم فوکوس و منبع تغذیه اسکن X و Y
- فرمان و مانیتورینگ توسط صفحه لمسی 10 اینچی
- امکان ذخیره و بازیابی کلیه اطلاعات لازم در سیکل‌های کاری و قابلیت بازیابی کلیه پارامترهای متغیر با زمان به صورت فایل اکسل