LABCOAT
10
سیستم پوشش‌دهی چند منظوره در خلأ(PVD)
کاربرد‌ها
دستگاه لایه‌نشانی چند منظوره با تکنولوژی مگنترون اسپاترینگ امکان تبخیر طیف وسیعی از مواد و لایه‌نشانی بر روی انواع زیرلایه با جنس‌های متفاوت را امکان‌پذیر می‌سازد. این دستگاه طوری طراحی گردیده است که نصب انواع دیگر چشمه‌های تبخیر، ملحقات و ادوات پیشرفته لایه‌نشانی در آن به سهولت قابل انجام می‌باشد.
- چمبر خلأ دوجداره خنک‌شونده 10 لیتری از جنس فولاد ضد زنگ با درب از جلو جهت کاربری آسان، مجهز به سنسور درب و سیستم خود قفل‌شونده و پورت‌های استاندارد اضافی جهت ارتقاء سیستم (اضافه کردن چشمه‌های تبخیر و سایر ادوات اختیاری)
- شاسی ارگونامیک با رنگ الکترواستاتیک و دسترسی آسان به قسمت‌های مختلف دستگاه (تعمیر و نگهداری و ارتقای آسان)
- خلأ نهایی
5*10-5 mbar - سیستم خلأ شامل پمپ‌های روتاری و دیفیوژن و سایر متعلقات خلأ بالا (گیج پیرانی، گیپ پنینگ، شیرهای خلأ و …)
- چشمه مگنترون اسپاترینگ 2 اینچی آب خنک با نصب آسان
- منبع تغذیه 700 وات DC پالسی
- شاتر خودکار بر روی چشمه مگنترون اسپاترینگ متصل به سیستم کنترل مرکزی MFC و شیر ورود گاز
- سیستم نگهدارنده نمونه به همراه کلیه حفاظت‌ها و سنسورهای لازم PLC سیستم کنترل مرکزی
- سیستم نمایشگر لمسی با امکان ذخیره و بازیابی اطلاعات
- پورت‌های اضافی جهت نصب سیستم‌های مختلف در سقف و کف چمبر
- امکان نصب گرمکن زیرلایه تا
2500 °Cبه دلیل فلزی و 2 جداره بودن چمبر - امکان نصب سنسور ضخامت‌سنج کریستالی
- امکان نصب سیستم چرخان نمونه (چرخش ساده و یا چرخش سیاره‌ای)
- امکان نصب انواع چشمه‌های تبخیر و اتصال آن به سیستم کنترل مرکزی